Базовые технологии

лаборатория численного моделирования

3D модель внутреннего объема сканирующего электронного микроскопа «Quanta 200»

Моделирование сканирующего электронного микроскопа «Quanta 200»

Задача заключалась в 3D моделировании внутреннего объема сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) с целью получения распределения траекторий попадания на анодный детектор вторичных электронов в зависимости от энергии и угла их выхода из поверхности сканируемого образца.

В результате, с помощью полученных данных была построена модель функционирования данного электронного микроскопа при различных энергиях пучка и различных материалах образца.