Базовые технологии

лаборатория численного моделирования

Распределение механического напряжение в области контакта

Контактная задача для микромеханических зондов

Моделировалась контактная задача для кремниевых микромеханических зондов, используемых в атомно-силовой микроскопии (АСМ), в контексте применения их для локального контактного определения механических свойств сверхтонкопленочных структур.

Результатом проведенной работы было получено семейство универсальных сеточных функций, позволяющее определять толщину тонкой плёнки по результатам экспериментального измерения контактной жесткости при произвольном сочетании материалов тонкопленочной структуры.